Microcircuit engineering 85 - ME : proceedings of the International Conference on Microlithography, September 23-25, 1985, Rotterdam, The Netherlands
- Författare
- S. Radelaar K. D. van der Mast International Conference on Microlithography 1985) (Rotterdam :
- (Edited by K.D. van der Mast, S. Radelaar.)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| North-Holland | 1985 | Nederländerna, Amsterdam | 654 sidor. diagr., ill., tab. |